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도핑 특성 측정 방법(@solar cell)

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공정기술 작성일2018-11-22 16:32

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일반적으로 Solar cell에서 도핑 특성을 측정하는 방법으로는 면저항을 측정하는 것으로 알고있습니다.
전체영역에 도핑된 cell은 면저항측정이 용이하겠지만, partially 도핑된 cell은 면저항 측정이 어려울 것으로 생각되는데...
혹시 패터닝으로 도핑된 cell에 대해서 도핑이 제대로 됐는지 알 수 있는 다른 지표가 있을까요??

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