박막재료 좀...

글쓴이
칠십인치야삽
등록일
2006-02-15 11:48
조회
5,771회
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0건
댓글
2건
졸-겔법으로 스핀코터를 이용해서 박막을 증착하려고 하는데요.
시료를 졸이나 겔상태로 파는 업체가 있을까요?(있어야 되는데...)
아니면 직접 만들어야 되나요?

직접 만들어야 된다면 어떻게 하면 되는건가요?
졸-겔법은 해본적이 없어서...^^
제조방법을 참조할 만한 자료나 논문이 있을까요?

만들시료는 SBT나 PZT같은 강유전체 재료입니다.
고수분들의 많은 조언 부탁드립니다.

  • 무소유 ()

      졸-겔법으로 꼭 해야하는 이유가 있는지요?? 졸-겔법은 기존에는 박막deposition용이 아닌, thick film을 목적으로 한 방법입니다. 요즘은 졸겔법이 박막디포지션의 한 방법이 되었지만요... PZT같은 강유전체 박막을 만드실려면, 통상적인 방법인 즉, 스퍼터링(상온deposition-> post annealing, 혹은 deposition at high temperature)이나 CVD, 증착 등을 이용하는 것이 좋습니다.
    제조방법은 일본 치바대학 연구원 논문입니다만, 영문논문입니다. 아래 주소로 가보세요...

    <a href=http://www.iee.or.jp/trans/pdf/2001/0109E_496.pdf target=_blank>http://www.iee.or.jp/trans/pdf/2001/0109E_496.pdf</a>

  • 박지훈 ()

      제가 학부 때 SBT 졸겔 용액을 만들어 봤는데요.

    Sr, Bi, Ta가 포함된 졸 용액을 유기 용매에 섞어서 만들었었는데요.^^

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