[화학/금속재료에 관한 질문] 반도체 장비에 있어서 부식에 관한 문제.

Bath 안에서 IPA(Iso Propyl Alcohol)를 증기로 끓여서 세정 처리를 합니다.

이 안에 구조물이 들어가는데 알루미늄으로 구조물을 만들고 부식을 견디기 위해서 겉에 테프론(PTFE)코팅을 했습니다. 그런데 이 코팅한 표면이 마치 페이트 도장한 후 잘 안 마른 것처럼 표면이 견고하지 못하더군요.

그래서 알미늄 Anodizing을 할까 하는데 이럴 경우 IPA의 부식력을 견뎌 낼 수 있는지 궁금합니다.

제가 재료공학적 지식이 거의 없어서 잘 모릅니당~ 잘 아시는 분은 조언 부탁 드리겠습니다.