박막재료 좀...
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칠십인치야삽 작성일2006-02-15 11:48관련링크
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졸-겔법으로 스핀코터를 이용해서 박막을 증착하려고 하는데요.
시료를 졸이나 겔상태로 파는 업체가 있을까요?(있어야 되는데...)
아니면 직접 만들어야 되나요?
직접 만들어야 된다면 어떻게 하면 되는건가요?
졸-겔법은 해본적이 없어서...^^
제조방법을 참조할 만한 자료나 논문이 있을까요?
만들시료는 SBT나 PZT같은 강유전체 재료입니다.
고수분들의 많은 조언 부탁드립니다.
시료를 졸이나 겔상태로 파는 업체가 있을까요?(있어야 되는데...)
아니면 직접 만들어야 되나요?
직접 만들어야 된다면 어떻게 하면 되는건가요?
졸-겔법은 해본적이 없어서...^^
제조방법을 참조할 만한 자료나 논문이 있을까요?
만들시료는 SBT나 PZT같은 강유전체 재료입니다.
고수분들의 많은 조언 부탁드립니다.
댓글 2
무소유님의 댓글
무소유
졸-겔법으로 꼭 해야하는 이유가 있는지요?? 졸-겔법은 기존에는 박막deposition용이 아닌, thick film을 목적으로 한 방법입니다. 요즘은 졸겔법이 박막디포지션의 한 방법이 되었지만요... PZT같은 강유전체 박막을 만드실려면, 통상적인 방법인 즉, 스퍼터링(상온deposition-> post annealing, 혹은 deposition at high temperature)이나 CVD, 증착 등을 이용하는 것이 좋습니다.
제조방법은 일본 치바대학 연구원 논문입니다만, 영문논문입니다. 아래 주소로 가보세요...
<a href=http://www.iee.or.jp/trans/pdf/2001/0109E_496.pdf target=_blank>http://www.iee.or.jp/trans/pdf/2001/0109E_496.pdf</a>
박지훈님의 댓글
박지훈
제가 학부 때 SBT 졸겔 용액을 만들어 봤는데요.
Sr, Bi, Ta가 포함된 졸 용액을 유기 용매에 섞어서 만들었었는데요.^^
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